【会员风采】理事单位 —— 电子科技大学集成电路科学与工程学院

单位介绍

        电子科技大学集成电路科学与工程学院（示范性微电子学院）前身可以追溯到1956年成立的无线电零件系，毛钧业教授担任第一任系主任，1986年成立微电子研究所，2015年获批建设国家示范性微电子学院。学院拥有电子薄膜与集成器件全国重点实验室、国家集成电路产教融合创新平台、四川省集成电路产教融合创新平台、四川省功率半导体技术中心、四川省集成电路实验教学中心等教学科研平台。学院形成了从材料、器件、设计、工艺、封测到微系统较完善的科研体系，在功率电子、集成薄膜方向国际领先，优势明显。承担的科研任务来自国家科技部、国家自然科学基金委、教育部、工信部等部委和地方企事业单位，任务涵盖了国家重点研发计划、国家自然科学基金、GF预研、173、基础科研等类型，形成了以“军事电子”、“基础研究”和“产学研合作”三足鼎立的科研格局。

电子科技大学清水河校区主楼

电子科技大学集成电路学院楼

科研基础

        电子科技大学集成电路科学与工程学院装备了先进的半导体器件制备与性能测试设备，拥有功率半导体制造与表征的主要仪器，长期处于功率半导体研究的第一梯队。主要制造与表征设备包括但不限于：等离子去胶系统、PECVD系统、电阻率测试系统、反应离子刻蚀机、分步投影光刻机、步进式高分辨光学显微系统、检查显微镜、精密自动划片机、三管程控扩散炉、深槽反应离子刻蚀机、双面光刻机、涂胶显影系统、椭圆偏振光测厚仪、阻抗分析仪、二维化物半导体分子束外延生长系统、物理气象沉积系统、等离子体增强型原子层沉积系统、动态参数测试系统、高功率半导体测试系统、高功率器件测试探针台、ESD波形捕捉分析系统、ESD测试系统、半导体仿真软件、高温反偏试验系统、高压半导体特性分析系统、功率器件高低温测试及分析系统、功率循环考核测试系统、混合信号示波器、静态参数测试系统、手自一体研磨抛光系统、稳态热阻分析仪、雪崩能量测试系统、栅特性测试仪、准静态测试仪、表面轮廓仪等。

实验设备

科研团队

        “新型功率半导体器件与集成电路”课题组为电子科技大学集成电路科学与工程学院功率集成技术实验室成员组之一，依托于电子薄膜与集成器件国家重点实验室，自2019年以来在罗小蓉教授（“长江学者奖励计划”特聘教授）带领下开展超宽禁带氧化镓功率器件与集成技术方面研究，课题组包含30名成员，其中2名博导、1名硕导、3名博士后、8名博士研究生以及16名硕士研究生，团队具备强大的学术能力、高度的凝聚力以及和谐温馨的科研工作氛围。课题组立志为我国功率半导体事业添砖加瓦，贡献智慧和力量。

科研成果

        半导体材料氧化镓因其超宽禁带和高临界击穿电场，其Baliga功率优值是Si的3444倍，且可通过多种较低成本的熔体法生长高质量、大尺寸的单晶，能够满足新一代电源系统与功率电子装置大功率、高效率和小型化发展需要，因而成为国内外研究的热点和重点，各国竞相对氧化镓研究进行战略布局。近年来，罗小蓉教授课题组开展超宽禁带氧化镓器件研究，在新型氧化镓功率整流管和晶体管及其可靠性研究方面取得一系列新进展，在国际权威期刊IEEE TPE、IEEE EDL、IEEE TED等和顶级会议ISPSD发表多篇论文，申请和授权多项专利。团队目前牵头和参与氧化镓相关的国家级和省部级项目等十余项，其中罗小蓉教授作为技术首席主持1项国家某科技计划重点项目。

部分研究成果