会员风采
【会员风采】会员单位 —— 山东晶升电子科技有限公司
2024-03-15
公司介绍
山东晶升电子科技有限公司坐落于泉城济南，是一家专注于宽禁带半导体装备研发和生产的国家级高新技术企业，研发范围覆盖半导体装备研制、长晶工艺，已形成系列自主知识产权，实现先进技术自主可控。致力成为行业宽禁带半导体关键装备供应商，并在济南市长清区建设了宽禁带半导体装备制造场地。
主要推广产品为第三代、第四代半导体高端装备，包括用于氧化镓生长的卤化物气相外延（HVPE）设备、导模法晶体炉、氧化镓垂直布里奇曼晶体生长炉。
企业文化
敬业，忠诚，团结，进取是企业精神，诚信社会为本，客户满意为荣是企业的经营理念！
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联系电话：13006586313
公司资质
主推产品
一、氧化镓的卤化物气相外延（HVPE）设备：2/4英寸
产品特点：
◆ 高的生长速率。
◆ 横向纵向生长比率高孔洞少，可以生长大面积厚膜。
◆ 单晶生长速率：≥200微米/小时。
◆ 氧化镓同质外延厚度：>20μm。
◆ 产品尺寸：2/4英寸。
二、导模法晶体生长炉
产品特点：
◆ 晶体生长炉，可实现EFG导模提拉法生长超宽禁带单晶半导体材料。采用高频加热方式，通过特殊的热场结构设计，可实现EFG导模提拉法生长超宽禁带单晶半导体材料。
◆ 设备可对应2-6英寸单晶材料的生长需求，同时可满足用户定制化的需求设计。
三、氧化镓垂直布里奇曼晶体生长炉
产品特点：
◆ 温度：100-1850℃。
◆ 进口发热体，工作温度精确度达±0.2℃。
◆ 坩埚具有旋转功能，可根据需要设置旋转速度和方向。
◆ 设备可用于2-4英寸单晶生长需求，可根据客户需求定制化所需其它功能。
四、籽晶粘接设备（柔性压头/硬压头）
产品用途：
◆ 设备可用于SiC,GaN和ALN生长前籽晶粘接，也可用于上述晶体机械加工中粘接。
产品特点：
◆ 粘贴的籽晶可在2300℃高温下保持不脱落。
◆ 100%粘接无气泡。
◆ 平整度高。
◆ 晶片表面整洁，无杂质吸附。
产品参数：
◆ 加热托盘采用盘式低电压电阻加热，加热温度均匀，使用安全，操作方便。
◆ 托盘下部安装有压力传感器，精确显示工件所受压力。
◆ 常用温度：柔性压头（室温-200℃）。
◆ 常用温度：硬性压头（室温-600℃）。
◆ 最大承受重量：1000Kg。
◆ 真空度：<10Pa。
◆ 压头尺寸：250mm。
五、氢氧化钾腐蚀炉
产品介绍：
本设备主要用于硅晶片腐蚀工艺，也可用于对其他材料的特殊工艺处理。
产品特点：
◆ 双热偶控温，腐蚀液温度控制精度±1℃。
◆ 升降部分采用伺服电机，定位精度高；旋转部分采用伺服电机，温度均匀性更可靠。
◆ 花篮方便拆卸。
◆ 单次可腐蚀1-5片。
◆ 安全联锁。
◆ 采用触摸屏+PLC控制方式，操作简单，工艺编辑和历史数据可以进行记录和导出，可以绘制温度实时曲线和历史曲线。
◆ 最高温度700℃。
